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[Creative Innovation]특허에 네패스 경쟁력이 있다_반도체 패키지의 제조 방법

이번 호에서 소개할 특허는 경박단소를 구현하는 동시에 보다 효과적인 반도체 패키지 공정으로 가격경쟁력을 높일 수 있는 생산성을 확보하기 위해 제안된 건이다. 복수의 웨이퍼들을 지지할 수 있는 트레이를 이용하여 패널 레벨로 다수의 웨이퍼 레벨의 반도체 패키지를 제조할 수 있는 공정 특허를 소개하고자 한다.일상 속 작은 아이디어로 시작하여 특허로 등록될 때까지 많은 부서의 사람들이 서로의 다른 생각들을 모으고 공감하여 창의적인아이디어로 발전시킨 반도체사업부의 패키지 제조 특허에 대해 알아보자.

취재 김지은 과장(kimje@nepes.co.kr)

특허명 : 반도체 패키지의 제조 방법 |
등록번호(등록일) : 10-1901987 (2018.09.18) |
발명자 : 김남철, 여용운, 권용태, 외
특허3

 

특허1

01. 본 특허에 대해 간단히 소개 부탁 드립니다.
본 발명은 당사에서 진행하고 있는 WLP/FOWLP와 관련 있는 특허입니다. 현재 WLP/FOWLP 공정은 웨이퍼/패널을 공정 카세트에 담아 진행하며, 각 장비에 장착된 로봇이 웨이퍼를 한 장씩 챔버에 로딩하여 공정을 진행하고 있습니다. 그러나 본 발명은 복수의 웨이퍼를 트레이에 장착하여, 웨이퍼 기반 공정이 아닌 트레이 기반 공정으로 진행한 공법을 적용하여 최대 8″ 웨이퍼 9장을 동시에 공정 진행할 수 있게 됩니다.

02. 이 특허가 가지고 있는 기술적 의의는 무엇인가요?
보통 반도체 라인은 웨이퍼의 크기에 따라서 각각의 투자가 수반되어야 하므로 당사는 8″ WLP 라인과 12″ WLP 라인이 나누어져 있습니다. 하지만 본 발명의 경우에는 다양한 웨이퍼의 사이즈 (4″/6″/8″/12″)에 구애받지 않고, 하나의 라인에서 모든 형태의 웨이퍼공정을 지원할 수 있다는 장점이 있습니다. 또한, 대형 트레이를 사용하여 공정을 진행함에 따라 제조 비용을 많이 절감할 수 있을 것으로 기대됩니다.

03. 발명에서부터 특허 등록하는 과정까지 에피소드가 있다면어떤 것이 있나요?
본 특허는 반도체 사업부장님이신 김남철 사장님께서 디스플레이 장비의 활용도를 모색하다 ‘트레이에 웨이퍼를 담아서 반도체 공정을진행하면 어떨까?’라는 생각에서부터 시작된 새로운 아이디어였습니다. 이러한 창의적 아이디어를 시작으로 조직 간의 상호 협업을 통해 특허 등록을 진행하게 되었습니다. 특허의 방향은 구조가 아닌 공법에 대한 특허이기 때문에 특허의 요소를 갖기 위한 아이디어를 만드는데 어려움이 있었지만 많은 사람들이 고민하여 창의적인 결과물을 만들 수 있게 되었습니다.

04. 이 특허가 우리 회사에 주는 기여도에 대해 설명 부탁 드립니다.
본 발명은 WLP 제조 공법의 패러다임을 바꿀 수 있는 공법입니다. WLP를 진행 함에 있어서, 웨이퍼의 형태와 크기에 따른 제한이 없어지게 되어 보다 효과적인 투자를 할 수 있게 되었으며 투자를 진행한 이후에도 불용 장비를 최소화할 수 있는 장점이 있습니다. 또한, 장기적인 측면에서 다양한 고객 니즈에 대응하여 성장의 큰 원동력이 될 수 있을 것으로 기대됩니다. 현재 8″미만의 웨이퍼는 OSAT 업체에서 제품에 대한 인프라를 가지고 있기 때문에 그에 따른 서비스를 제공하지 않고 있습니다. 하지만 본 발명의 공법은 8″미만의 제품도 핸들링이 가능하기 때문에 당사의 이러한 서비스 제공으로 고객의 마음을 움직여 메이저 고객을 만드는 불씨가 될 수 있을 것으로 생각합니다.

05. 이 특허와 관련하여 지금 현재 연구 중이거나 향후 출원 예정인 기술이 있다면 말씀해주세요.
FO개발팀에서는 vPLP의 양산을 위해 많은 팀원들이 열정을 쏟아부으며 고생을 하고 있습니다. 공법의 변경으로 그에 맞는 인프라를 변경해야 하는데, 특히 재료의 안정성은 새로운 공법에 적용하기에 아직 미흡한 면이 있습니다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 여러 재료업체와 협업을 진행하고 있으며, 빠른 시일 내에 적합한 재료를 선정하여 개발이 완성되기를 기대합니다.

06. 마지막으로 사보를 통해 n가족들에게 하고 싶은 말이 있다면 한 말씀 부탁 드립니다.
공정기술팀은 상대적으로 기술원보다 특허에 대한 관심도가 적은 편이라 이번 기회를 계기로 공정 기술 관계자분들께서도 특허에 대해 작은 관심을 가져 주셨으면 좋겠습니다. 업무를 하면서 얻게 되는 작은 아이디어로 특허팀에 문을 두드린다면, 발명의 결과보다는 그 과정에서 얻는 경험이 엔지니어링에 많은 도움이 될 것이라 생각합니다. 마지막으로, 본 특허는 발명자보다 특허팀에서 특허 등록을 위해 많은 노력을 기울여 주셨는데 이 자리를 빌려 유명훈 부장님과 권혁진 과장님께 감사의 인사를 전하고 싶습니다.